电子级超纯水设备以反渗透技术为基础，加入离子交换和末端处理技术。有的还设有深度离子脱盐、超滤和紫外光氧化设备。

　　天然水中常见的杂质包括可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等，电子级超纯水设备就是尽可能去除这些杂质。目前，净水常用的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等。电子级超纯水设备一般可将水净化过程分为4大步骤，预处理(初级净化)、反渗透(产生纯水)、离子交换(可产生18.2MΩ.cm的超纯水)和末端处理(产生超纯水)符合特殊要求)。

　　(1)电子级超纯水设备的用途：

　　1、超纯材料和超纯试剂的生产和清洗。

　　2、电子产品的生产和清洗。

　　3、电池产品的生产。

　　4、半导体产品的生产和清洗。

　　5、电路板的生产和清洗。

　　6、其他高科技精品的生产。

　　(2)纯水设备的用途：

　　1.电厂化学水处理

　　2.电子、半导体、精密机械行业的超纯水

　　3.食品、饮料和饮用水的制备

　　4.小型纯净水站，群饮纯净水

　　5.精细化工及高等学科用水

　　6.其他行业所需高纯水的制备

　　7.制药工业工艺用水

　　8.海水和微咸水的淡化

　　水的电导率不同

　　1、电子级超纯水设备出水水质：电阻率>15MΩ.cm

　　电子级超纯水设备质量分为5个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同的水质。

　　2、纯水分为：工业纯水和饮用纯水工业纯水：25摄氏度，1、普通纯水：EC=1~10us/cm; 2、高纯水：EC=0.1~1.0us/cm; 3、超纯水：EC=0.1~0.055;饮用纯净水：EC=1~10 us/cm(国标)。