电子级超纯水设备在电子半导体行业的应用
发布时间:
2022-07-12
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电子级超纯水设备在电子半导体行业的应用
电子级超纯水设备采用先进的反渗透技术。它的工作原理是对水施加一定的压力,使水分子和离子矿物元素通过反渗透膜。溶解在水中的大部分无机盐(包括重金属)、有机物、细菌和病毒不能通过反渗透膜,从而使渗透的纯水和不渗透的浓水严格分离。
电子级超纯水设备以反渗透技术为基础,加入离子交换和末端处理技术,有的还具有深度离子脱盐、超滤和紫外光氧化等设备。应尽可能去除天然水中常见的可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等杂质。
水在电子半导体行业生产过程中的应用比较多,所以大部分企业会选择性价比高的电子级超纯水设备。电子半导体行业的电子级超纯水设备通常由多介质过滤器、活性炭过滤器、钠离子软化器、过滤器等组成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐)系统)系统。等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水箱、超纯水箱均配备液位控制系统,高低压水泵配备高低压压力保护装置,水质在线检测控制仪表,电气采用PLC可编程控制器。无人值守,同时在选材过程中采用统一推荐和客户要求的方法,使设备与其他同类产品相比具有更高的性价比和设备可靠性。
超纯水水质标准规定的指标主要依据是: 1、微电子技术对水质的要求; 2、制水技术水平; 3、检测技术现状。
超纯水在电子元器件生产中的重要作用日益凸显。超纯水的质量已经成为影响电子元器件质量、生产良率和生产成本的重要因素之一,对水质的要求也越来越高。在电子元件的生产过程中,超纯水主要用于清洗水和制备各种溶液和浆液。不同的电子元器件在生产过程中对纯水的用途和对水质的要求略有不同。 .
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